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沈天慧

    半導體化學(xué)家 1923年4月27日生于浙江嘉善,籍貫浙江杭州,2011年1月2日逝世。1949年畢業(yè)于上海大同大學(xué)化工系。1957年至1959年赴蘇聯(lián)進(jìn)修。上海交通大學(xué)教授。1980年當選為中國科學(xué)院學(xué)部委員(院士)。

    參加了包頭稀土鐵礦以及鉬礦的分析工作。開(kāi)展了用三氯氫硅法制備超純硅的研究工作。1966-1986年從事半導體材料及航天用大規模集成電路的研制。1978年成功地用等平面N溝硅柵MOS工藝,研制出大規模集成電路數種,當時(shí)在國內處于領(lǐng)先地位。1987年后,從事磁頭磁盤(pán)及電磁型微馬達的研制工作,已制出直徑為2mm的微馬達。